标题:
电容式真空压力传感器介绍
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作者:
yuewu
时间:
2011-1-21 09:50
标题:
电容式真空压力传感器介绍
E+H
公司的电容式压力传感器是由一块基片和厚度为
0.8
～
2.8mm
的氧化铝
(Al2O3)
构成
,
其间用
1
个自熔焊接圆环钎焊在一起。该环具有隔离作用
,
不需要温度赔偿
,
可以保持长期测量的可靠性和持久的精度。测量方法采用电容原理
,
基片上一电容
CP
位于位移最大的膜片的中央
,
而另一参考电容
CR
位于膜片的边沿
,
由于边沿很难以生产生位移
,
电容值不发发生变故化
,CP
的变化则与施加的压力变化有关
,
膜片的位移和压力之间的关系是线性的。遇到过载时
,
膜片贴在基片上不会被破坏
,
无负载时会立刻返回原位无任何滞后
,
过载量可以达到
100%,
即使是破坏也不会泄漏任何污染介质。因此具有广泛的应用前景。
电容式真空传感器只是压力传感器的以的一种，传感器的总类还是挺多的，如
电压压力传感器
、光纤传感器、电阻传感器、离子传感器……
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