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标题: MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？ [打印本页]

作者: Mongday 时间: 2011-3-21 17:42 标题: MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？

MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？

作者: tl1116 时间: 2011-7-19 10:41

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作者: vn4893 时间: 2012-3-27 11:37

1、气体流量的检测
l燃气装置的空气比管理
l气体能量管理
2、控制流量的监测
l通气管道的流量监视
l净化车间
3、过程控制
l半导体制造装置/分析器
l流量计测·控制

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