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标题: 为何我们需要高精度的薄膜量测? [打印本页]

作者: shuggad    时间: 2006-4-8 20:40     标题: 为何我们需要高精度的薄膜量测?

在OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等行业中,薄膜测量是检验产品质


量的高科技手段之一。而美国SCI 公司最新开发并研究出了世界顶级高精度薄


膜光学测量仪器FilmTek系列产品。它的主要性能简单的说就是可测参数比一


般薄膜量测多,并且安全可靠,容易装配,在现有的设备上可自由添加这种配


置,方便更新。其中它得可测参数有:
1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um)
2)反射率R和透射率T
3)折射率n和吸收系数k
4)能带间隙
5)表面粗糙度和损伤度
6)成份和结晶程度
   与了解详情请用一下方式联系:EMD (半导体设备与材料部)
电话:021-61021225  传真:021-52353710
E-mail: emdservice@ChinaECNet.com



 






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