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标题: 影像感应器生产线静电规划 [打印本页]

作者: 静电小强    时间: 2012-10-10 15:32     标题: 影像感应器生产线静电规划

  一、切 / 吸巴区

  A.贴片机 ( Tapping machine )

  当撕开蓝色胶带时产生 800V-2000V 之静电压,会破坯芯片(蕊),且附近 Particle.因静电场高而吸附 在机台附近,污染芯片 .

  建议改善:加装离子风扇或装离子棒,消除撕开 film 之静电 .

  B.-芯片袋粉红色

  量测其表面阻抗值 10(11)Ω/SQ ,当磨擦产生 60-70V 之静电,符合工厂作业标准。

  C.不锈钢桌

  量测接地导通性为 85K Ω -180K Ω符合标准,但与大地之接地直接接地,未符合 ESD 协会之标准 .

  建议改善:不钢桌接地时必须采用 M Ω电阻,再行接地 .

  D.无尘椅

  (1)量测表面阻抗值为10(6)Ω-10(7)Ω,但量测其导通性均在 10(11)-10(12)Ω不符合标准,再量轮)其阻抗值为 10(12)Ω均绝缘体 .

  (2)椅面破损不符合无尘椅使用 .

  建议改善:

  1.更换椅子,使其椅面到地板之导通性为 10(6) Ω-10(9) ;

  2.更换现有之绝缘轮为导电轮,使其导通性为 10(6) Ω -10(9).

  E.Dacing Machine 所以 Dacing Machine 之 Monitor 静电压为 450 ~ 1210V. 建议改善 : 在 Dacing M/C monitor 加装 ESD 网并且接地

  F.Dacing M/C 之资料袋 量测表面阻抗值为 10(12)Ω以上绝缘体,易产生静电。 建议改善:采用静电袋表面阻抗值 10(6) -10(9) Ω。

  G.Wafer Boxes film, 磨擦时產生 2000-3000V 之静电,极易伤害芯片 . 建议改善:将 film 之材料改为静电材料 , 其阻抗值 10(6) -10(9) Ω .

  H.芯片之海绵 量其阻抗值为 10(11)Ω,属于抗静电之材料,理当可用。 建议改善:要求供货商提供表面阻抗值为 10(6) -10(9) Ω之海绵为最佳。

  Wafer 盖子 其材质为 acrylic 表面阻抗值 10(12) Ω以上,磨擦极易产生静电,而吸附许多 Particle, 而容易污染晶粒 . 建议改善 : (1) 将盖子改为防静电材料 (2) 加装离子风扇消除其静电,不吸附 Particle

  二、Die Bonding M/C 湿度 47% ,温度 17 度 C

  A.D/B16 M/C量测 Bonding Probe from Tray 静电压为 80V; 量测 Monitor 静电压为 2K-5K D/B-15 M/C 量测 Boning Probe From Tray 静电压为 188V; 量测 Monitor 静电压为 5K-6K 建议改善:所有 Monitor 加装 ESD Film 并且接地

  B.R 、T 、V M/C 虽然加将导电网 , 磨擦不產生静电,不吸附 Particle ,但是未做接地。 建议改善:立即将 Curtain 做接地,方能将感应之 ESD 导至大地。

  三、400 测试站

  A.夹具采用电木材质,B.属于绝缘体, C.其阻抗值 10(12) Ω以上, D.即易产生静电。 建议改善: a.下次订购夹具时改用静电压克力。 b.现有夹治具旁可加装静电风扇,消除夹治具之静电。

  B.生产流水线 吹风治具采用一般 acrylic 做 Cover ,量测其静电压为1200V 。 建议改善:全面更换 acrylic cover 为防静电 acrylic 之材质 .

  四、800 测试站

  在工作中量测静电压为 50-680V 有时达 1200V 。 建议改善:加装离子风扇,即可解决静电问题。

  五、Rework

  量测该区域工作中静电压为60V-580V擦拭焊点之光学工作台,采用绝缘膜,其表面阻抗值为 10(12)Ω以上,极易磨擦,产生静电。 建议改善:立即去除绝缘 film,采用静电桌垫,并且接地 . 离子静电枪

  采用 charge plate monitor 量测静电枪之正负离子,无效 .

  建议改善:立即更新

  六、综合建议:

  改善静电问题,以环境控制、个人控制、包装材料控制、教育训练四大原则处理,逐步分析,再配合 ESD 、ASTM 、EIA 、Millitary 协会之标准执行,即可静电控制做得更完善,增加产品 Yield.

  备注: 10(6) 表示 10 的 6 次方,以此类推。




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