低功耗传感器阵列的制备技术: 采用由MEMS工艺制造的微结构金属氧化物气体传感器阵列作为检测系统的气体敏感元件。微结构金属氧化物气体传感器阵列的特点在引言中有讨论。选用的阵列器件体积小,器件面积3 X 3 mm2,在同一膜片中集成了2X2个传感器单元,每个单元的工作功耗小于50mW,并用掩模溅射的方法在每个单元镀上相应的敏感薄膜,各单元膜电阻在一定的工作温度下能对特定气体浓度的变化产生程度不同的变化。传感器单元敏感薄膜的膜电阻变化能迅速的反映气室中气体组分和浓度的变化情况,将其转变为电压信号后,可由单片机通过A/D电路采集量化为可以进行模式识别的数据。