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标题: 流量控制器MFC2000在单晶炉设备的半导体行业中应用 [打印本页]

作者: 智能小猫 时间: 2024-10-25 09:19 标题: 流量控制器MFC2000在单晶炉设备的半导体行业中应用

单晶硅炉，也称全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化（1450℃以上），在低真空度和氩气保护下，通过紫晶插入多晶硅熔体后，在紫晶周围形成过冷态并进行有规律生长，形成一根单晶棒体。由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

直拉单晶炉可以用于生产硅、镓、锗等半导体材料的单晶，这些单晶材料被广泛应用于集成电路、太阳能电池和光电器件等领域。
（1）光伏行业发展：随着全球对可再生能源的需求增加，光伏产业发展迅速。单晶炉作为光伏产业的关键设备，其市场需求将持续增长。
（2）半导体行业发展：随着人工智能、物联网等新兴技术的快速发展，半导体市场需求也在增加。单晶炉在半导体工业中起着关键作用。通过生长单晶硅棒，可以制备出高纯度的硅单晶片，进而用于制造集成电路（IC）和其他半导体器件，如太阳能电池、光电二极管等。单晶炉也被广泛应用于光学领域，可以制备出高质量的光学元件，如激光晶体、光纤、光学窗口等，用于激光器、光通信、光学仪器等领域。
其中单晶炉及晶炉设备是需要在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中工作，需要很核心的器件流量控制器，去控制设备中的气体需求量。
质量流量控制器MFC不仅能测量气体的流量，具备流量计的功能，其测量值不因压力或温度的波动而失准，不需要进行压力温度修正;而且它还可以控制流量，本身具有检测控制电路和流量调节阀，是一个闭环控制单元。用户可以根据需要在量程范围内任意给定流量设定值，质量流量控制器可以在输入的氩气压力或环境温度发生变化时，自动跟踪设定值而改变流量并稳定在设定值上，保证输送的氩气流量不产生波动，从而稳定单晶炉炉内的真空度在2.6 kPa左右。
下面来自工采传感（ISWEEK）代理美国SIARGO的一款高精度，量程范围宽可选的流量控制器MFC2000系列。

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作"“热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用干动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至0.8MPa(15至120 PSL)的压力和0至50℃的补偿温度。量程在50mL/min到200L/min不同范围可选，带有数字RS485 Modbus通信和模拟输出。
该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器可选双卡套、VCR或UNF，其他定制连接器可根据要求提供。
SIARGO的MFC2000流量控制器在CVD设备中具有很重要的作用，可以精准测量和控制气体的大小，可以很好的实现在高温度、高精度、高分辨中使单晶棒体的高纯度生长。

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