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标题: [求助]哪位大侠知道 MEMS加速度传感器的专业网站 [打印本页]

作者: lian2004 时间: 2004-4-23 08:48 标题: [求助]哪位大侠知道 MEMS加速度传感器的专业网站

我正在作这方面的工作，可惜手头资料有限
请大家多多指教
只要是与此有关的资料都可以小弟认为有几个方面
1硅晶片的加工工艺
2简化数学原理模型与反馈电路
3某一具体的传感器如 ADLX105等
[em13]

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