EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品，美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领

军者，其产品广泛应用于半导体，光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特

性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。

FilmTek?，为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求，可通过反射，

透射，多角度反射，椭圆分光，偏振等方式测量多层或单层，感光层材质可为金属，半导体，非晶体，水

晶，绝缘体的薄膜，光源旋转补偿以及组合型分光系统配以常规入射反射计可获得最佳的测量效果，对于

极薄型以及博厚型薄膜可同时测量：
1.多层厚度（1?到 250 microns）
2.折射率n
3.吸收系数k
4.双折射率
5.能隙（Eg）
6.表面粗糙度和损伤
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
8.薄膜温度特性
9.晶元曲率和薄膜耐压性

应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。
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