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静电是如何产生的呢?广州瑞加的工程师认为,不同物质(尤其是绝缘物质)的接触、分离或相互摩擦,会产生静电。在生产过程中的挤压、切割、搬运、搅拌和过滤以及生活中的行走、起立、脱衣服等,也就都会产生静电,例如:
①绝缘装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等,这些材料摩擦容易起电,不易泄漏释放:光刻间塑料地面500V~1000V,扩散间塑料地面500V~1500V,瓷砖地面也有500V~1500V,塑料墙纸700V,塑料顶棚0V~1000V,金属活动皮革椅面500V~3000V。
②人员穿洁净工作服、鞋、步行或工作时,与不同物质设备器材摩擦要产生静电,人、衣服、鞋都会带电:人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动,人身上带7000V~8000V静电压。在乙烯基地板上行走可带1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH),在地毯上行走可带35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH)。
③无尘室空调气流经过初效过滤器,中效过滤器,高效过滤器,净化出口气流是带静电的。铝板送风口、回风口为500~1000V。
④绝缘器材、装备和工具,也是重要的静电电荷源。
知道了静电的危害和产生的原因,就需要想办法控制和消除静电。广州瑞加工程师认为基本原则如下:
①
确定静电控制级别
②
尽量减少静电荷的产生
③
采用泄放和中和的办法加速静电荷消散,防止静电积累
不同的生产车间对于静电的要求程度也是不一样的,首先需确定静电控制的级别
①
元器件、组件和设备静电敏感度分级如下:
1级:易遭受0-1999V静电电压损坏的
2级:易遭受2000-3999V静电电压损坏的
3级:易遭受4000-5999V静电电压损坏的
而敏感静电压大于16000V的,便不必采取防静电措施。
②
同时静电防护工作区也有分级:
A级:允许对地静电电位不超过±100V
B级:允许对地静电电位不超过±1000V
通常,实际工程中是分静电电位不超过100V、500V、1000V等,以对应元器件、组件和设备静电敏感电压的3级。
根据防静电要求的评估,建立ESD安全操作区域,即EPA(ESD Protection Area),需要涵盖防静电地板系统、除尘系统、接地系统及空气的温湿度三方面。最好是在相应的位置贴上ESD防护警示标志等。
在EPA区域,首先要尽量减小静电荷的产生:
1)尽量采用性质相似器材,减少在接触摩擦分离过程中产生静电电荷。
2)尽量采用导静电型或静电耗散型材料的器材,减少接触摩擦分离过程产生积累静电荷,由于其具有导静电性,也是很好的静电荷泄放材料,而且比金属导体泄放更具有安全性,尽可能采用防静电材料做地板、墙面、工作台、周转容器、镊子、刷子等防静电器材,甚至包括防静电笔及笔记本。
3)尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
4)空气中的尘埃在运动的过程中相互碰撞,也会产生静电,因此空气尽量做到洁净无尘。首先要求有空气尘埃过滤和清洁的措施,包括:风淋室、风淋通道、货淋室、沾尘垫、沾尘滚筒、空气过滤器、无尘传递窗、无尘室风淋传递窗等。
5)尽可能采用净化灯具、无尘室净化玻璃、无尘室彩钢板天花、无尘室彩钢板包墙角、无尘室彩钢板包柱等。
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