国内传感器关键性技术问题 可靠性, 能力, 敏感度, 传感器, 技术

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我国传感器产业和技术发展仍存在着突出的问题，核心技术和基础能力缺乏，创新能力弱。传感器在高精度、高敏感度分析、成分分析和特殊应用的高端方面差距巨大，中高档传感器产品几乎100％从国外进口，90％芯片依赖国外，国内缺乏对新原理、新器件和新材料传感器的研发和产业化能力。  
在技术问题方面，国内传感器关键性技术问题尚未真正突破。设计技术、可靠性技术、封装技术、装备技术等方面都存在较大差距。国内尚无一套有自主知识产权的传感器设计软件，国产传感器 可靠性比国外同类产品低1～2个数量级，传感器封装尚未形成系列、标准和统一接口。传感器工艺装备研发与生产被国外垄断。传感器工艺制备中的某些关键技 术，如深刻蚀技术（LIGA技术）、高温欧姆接触技术、使用温度大于300℃、高可靠的MEMS封装技术、快速测试技术、高仿真模拟技术等，尚未取得突破 性进展和批量生产的验证。