半导体的静电危害 静电

静电小强

　　1.穿着尼龙衣、塑胶基底鞋在清洁地板上缓慢走动，人身会带静电7~8KV电压;

　　2.玻璃纤维制成的的晶体载料盒滑过聚乙稀桌面时，易产生10KV静电;

　　3.晶片装配线：晶片静电可达5KV，晶片装料盒35KV，工作服10KV，有机玻璃盖8KV，石英晶件1.5KV，晶片托盘6KV;

　　4.光刻间塑料地面500~1000V，金属网隔地面500~1000V，扩散间塑料地面500~1500V，塑料墙面约700V，金属活动皮革椅面500~3000V。

TLP291