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摘要 文中针对关于一种厚膜混合集成自激振荡电路进行了理论分析，并对批量化持续改进过程的技术作出了总结。介绍了该产品的电路、结构及失效产品的原因和解决方案，并进一步论证了自激振荡电路批产化和高可靠的设计原则，同时也对传感器行业特点及其发展方向进行了相关探讨。
关键词 自激振荡电路；厚膜混合集成；产品可靠性
厚膜混合集成自激振荡电路适用于加速度计，能与石英振梁配套，组成一种新型固态化、数字输出的加速度传感器。输出的频率信号完全由数字电路处理，无需进行A／D转换，同时可直接被导航计算机使用，从而消除了转换误差。
该加速度计量程大、体积小、精度高、功耗低、启动时间短、可靠性高且具有较高的分辨率，应用前景广阔。可广泛应用于车辆导航、航海导航、空间微动力测量、井孔地层密度测量、地方的重力测绘、地震监视以及火山爆发监测等领域。
1 产品描述和分析
该产品属于厚膜混合集成电路，交付使用后，还需二次组装，与石英振梁等结合组成用户所需的各种加速度计专用电路。
由于石英振梁加速度计的底座与用户封装管帽的安装要求较高，所以用户对外形尺寸提出了具体的要求：封装形式采用圆形直插式金属外壳，壳体镀镍，引线镀金，上下均有引出线，上引出线用作与外接温度传感器互连，下引出线主要是输入输出端子，上表面陶瓷盖板高温黏接，最终用户封装后，形成密封结构的产品。
产品内部，主要有3路方波振荡器，通过外接温度传感器实现输出频率为25～45 kHz的方波。
该产品线路上采用多反向器实现了多谐振荡，产生方波；工艺方面采用厚膜电阻、半导体反向器芯片、0603封装片电容以及金导体细线成膜工艺，多数元器件采用导电胶粘接。 |
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