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MEMS传感器的分类

MEMS传感器的分类

MEMS气体流量传感器:高精度,检测流量范围广,适用于各种需求的流量计测。

MEMS压力传感器:性能偏差小的MEMS压力传感器。

MEMS非接触温度传感器:对静止人体也能检测,高灵敏度的人体感应传感器。

MEMS开关:高频,小型,长寿命的MEMS开关。
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