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MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？

新手上路

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Mongday发表于 2011-3-21 17:42 | 只看该作者

MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？

流量, 传感器

MEMS气体流量传感器可以用在什么地方？

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tl1116发表于 2011-7-19 10:41 | 只看该作者
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vn4893发表于 2012-3-27 11:37 | 只看该作者
1、气体流量的检测
l燃气装置的空气比管理
l气体能量管理
2、控制流量的监测
l通气管道的流量监视
l净化车间
3、过程控制
l半导体制造装置/分析器
l流量计测·控制
沥青靶式流量计http://www.hsdyb.com/
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