基于闭环MEMS的电容式惯性传感器设计 放大器, 精密, 传感器, 评估, 分析仪

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关键字：频率响应补偿   MEMS振动分析仪  
优势和特性● 高g、基于MEMS的振动分析仪
● 平坦的响应：22kHz
● 70g、250g和500g范围

连接/参考器件
ADXL001：高精度、±70g、±250g、±500g单轴加速度计
AD8606：精密、低噪声、CMOS、轨到轨输入/输出、双封装运算放大器
AD7476：2.35V至5.25V、低功耗、单通道、1MSPS、12位ADC

评估和设计支持
电路评估板
CN-0303电路评估板(EVAL-CN303-SDPZ)
包含ADXL001评估板(EVAL-ADXL001-70Z)和用于连接的扁平电缆
系统演示平台(EVAL-SDP-CS1Z)
设计和集成文件
原理图、布局文件、物料清单
电路功能与优势
图1所示电路是一款高线性度、低噪声、宽带宽振动检测解决方案。该方案适用于要求具有宽动态范围（±70g、±250g或±500g）以及平坦频率响应（从直流到22kHz）的应用。
该电路提供适合进行轴承分析、引擎监控以及振动检测的低功耗解决方案。
享有ADI专利的第五代iMEMs工艺让ADXL001加速度计拥有从±70g扩展至±500g的扩展动态范围，且带宽为22kHz。
AD8606是一款精密、低噪声、双通道运算放大器，用于创建模拟双四通道滤波器，可使加速度计的输出频率响应较为平和。
ADXL001输出电压经低功耗、单通道12位SAR ADC AD7476转换为数字值。



图1.单轴振动分析系统（原理示意图：未显示去耦和所有连接）