半导体气体分析仪 电导率, 半导体, 气体, 分辨率, 灵敏度

delzain

目前,半导体气体敏感元件,大多是以金属氧化物半导体为基础材料。当被测气体在该半导体表面吸附后，引起其电学特性（例如电导率）发生变化。利用这种现象，制造成的各种半导体气体敏感元件，进入商业市场已有二十多年，其应用领域日益扩大。但是，半导体气体敏感元件的工作机理至今尚不十分明确。目前比较流行的几种定性模型是：原子价控制模型、表面电荷层模型、晶粒间界垫垒模型。一 半导体气体敏感元件的特性参数
   1气体敏感元件的电阻值
   2气体敏感元件的灵敏度
   3气体敏感元件的分辨率
   4气体敏感元件的响应时间
   5气体敏感元件的恢复时间
   6气体敏感元件的初期稳定时间
   7气体敏感元件的加热电阻和加热功率
二 烧结型气体敏感元件
   1直接加热式气体敏感元件
   2旁热式气体敏感元件
        半导体气体敏感元件是半导体气体分析仪的主要测量部件。