MEMS的动作识别原理 MMA73x0L加速计是电容性传感器,采用了MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术。MEMS由微型的电机结构组成,采用“微加工”工艺制造,例如体微加工,有选择地蚀刻硅晶圆的几个部分。 另外也可能采用表面微加工,在硅晶圆表面建立薄膜结构。MMA73x0L加速传感器采用了这两类结构。Z轴技术可以视为一个活动的电容,沿着它接收加速度 的方向移动。X轴向技术包括一个可移动物体和双重固定横梁。每对感应单元横梁包括两个背对背的电容器。由于有了加速度,中间物体就会移动,改变横梁之间的 距离,进而改变它们之间的电容。
动作识别设计 在设计识别系统时,有几个必须考虑的问题。首先,设计必须降低将无意动作误解为有意动作的可能性。如果确定X、Y、Z轴向的测量信号在某段 时间内位于一定数值范围内,就可以认为检测到了特定动作。例如,当每个轴有10个连续的测量值位于特定的数值范围内时,动作识别系统检测到的动作就被视为 有意动作。这样就可以检测到控制机制的快速动作,同时减少发生检测错误的可能性。
其次,检测到的动作信号取决于设备安装位置和动作类型。安装加速计的最佳位置应当是既能检测到所需动作,而错误动作或变化又比较少的位置。
第三,必须了解将要检测的每个动作的加速度范围。新型低重力加速度加速计,提供重力加速度选择,帮助设计人员更加简单地选择加速度范围。重 力加速度选择是一种传感灵敏度选择,两个逻辑输入可由微控制器驱动,以动态地改变传感灵敏度和重力加速度范围。重力加速度选择提供了不同动作所需的灵敏度 范围,从而简化动作识别系统的设计,如图2所示。
图2 多个量程的加速度传感器能为不同的动作提供4种灵敏度,从而简化设计 一些动作检测只是加速度在-1g到+1g之间的倾斜测量。然而,有一些小的手部动作,比如鼠标移动,至少需要2g的加速度。而更大的动作可能需要4g甚至更高的加速度。硬件应该能够适应所有这些动作的需求,能够识别多种动作的差别。
加速计实现了动作识别功能。这将为现有应用提供新功能,或增强它们的现有功能。加速计具备了测量倾斜、动作、位置、摇晃、震动和自由下落的功能,可以识别各种动作。通过使用加速计,让动作成为一个新的用户接口,用户就不再局限于使用机械控制方式。
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