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传感器的种类繁多，应用范围和领城极广，新型传感器不断涌现。促使传感器发展的原因很多，从以下几方面可以看出其梗概:
(1)新效应的发现。物理现象、化学反应和生物效应是各种传感器工作的基本原理.所以发现新现象与新效应是发展传感技术的重要工作，是研制新型传感器的重要基础。例如超导效应的发现和超导技术的研制成功，研制出了高温超导磁传感器，其灵敏度比霍尔器件高、仅次于超导量子干涉器件，而制造工艺又比超导量子器件简单，具有广泛的应用价值。
(2)功能材料的开发。材料是传感技术的重要基础，由于材料科学的进步，人们在开发新材料时，可任意控制它们的成分，从而制造出用于传感器的各种功能材料，促进了各种新型传感器的出现。例如改变半导体氧化物成分，可以制造出各种气体传感器;光导纤维的出现。带来多种光纤传感器。
(3)采用微细加工技术。微细加工技术起源于半导体技术，如氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺、各向异性腐蚀以及蒸镀、溅射薄膜工艺等。将这种技术引进传感器制造，就产生了MEMS传感器。例如，裁于微管道内介质热对流的加速度传感器、基于微线圈制造工艺的磁场传感器等。
(4)采用集成技术。采用集成技术.研制多功能集成传感器是传感器发展的又一热点。例
如，采用半导体工艺，在同一芯片上制作出静压、压差和温度三种敏感元件的集成压力传感器;同时检测Na+、K'+、H+的多离子传感器等。
(5)与微电子技术结合。利用微电子技术的优势，设计制造出具有强大功能的信号处理芯片，把它与传感器的敏感元件结合，出现了具有强大生命力的钾能化传感器和多种传感器技术。
(6)采用纳米技术。纳米材料中的基本颗拉直径在100nm以下，它所对应的是材料的分子或原子教粒。这种微小的结构颗粒对光、机械力和电的反应完全不同于微米或毫米级的结构孩粒.它们从宏观上显示出许多奇妙的特性。近些年来.世界各国对纳米技术、纳米材料及应用技术的研究非常重视，投人大量人力和资金，使其得到快速发展，电子技术也将从微电子时代进人“后硅器时代”或称“纳米电子时代”。
目前.国内外已经制成多种纳米电子器件，如原子级纳米品体管、纳米导线、单分子电路、纳米级芯片、纳米存储器等。用于检测压力、力矩、加速度、振动、位移、流量、磁感应强度、沮度、湿度、气体成分、pH值、离子浓度、传感器已取得重要成果;纳米传感器与传统传感器相比，纳米传感器具有体积小、分析响应速度快、能耗低和效率高等优点，成为传感器发展的重要方向。
资料来源—仪器仪表网 |
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