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半导体器件芯片焊接失效模式分析与解决探讨

半导体器件芯片焊接失效模式分析与解决探讨

芯片到封装体的焊接(粘贴)方法很多,可概括为金属合金焊接法(或称为低熔点焊接法)和树脂粘贴两大类。它们连接芯片的机理大不相同,必须根据器件的种类和要求进行合理选择。要获得理想的连接质量,还需要有针对性地分析各种焊接(粘贴)方法机理和特点,分析影响其可靠性的诸多因素,并在工艺中不断地加以改进。本文对两大类半导体器件焊接(粘贴)方法的机理进行了简单阐述,对几种常用方法的特点和适用性进行了比较,并讨论了在半导体器件中应用最为广泛的金-硅合金焊接失效模式及其解决办法。
  1、芯片焊接(粘贴)方法及机理
  芯片的焊接是指半导体芯片与载体(封装壳体或基片)形成牢固的、传导性或绝缘性连接的方法。焊接层除了为器件提供机械连接和电连接外,还须为器件提供良好的散热通道。其方法可分为树脂粘接法和金属合金焊接法。
  树脂粘贴法是采用树脂粘合剂在芯片和封装体之间形成一层绝缘层或是在其中掺杂金属(如金或银)形成电和热的良导体。粘合剂大多采用环氧树脂。环氧树脂是稳定的线性聚合物,在加入固化剂后,环氧基打开形成羟基并交链,从而由线性聚合物交链成网状结构而固化成热固性塑料。其过程由液体或粘稠液 → 凝胶化 → 固体。固化的条件主要由固化剂种类的选择来决定。而其中掺杂的金属含量决定了其导电、导热性能的好坏。
  掺银环氧粘贴法是当前最流行的芯片粘贴方法之一,它所需的固化温度低,这可以避免热应力,但有银迁移的缺点。近年来应用于中小功率晶体管的金导电胶优于银导电胶。 非导电性填料包括氧化铝、氧化铍和氧化镁,可以用来改善热导率。树脂粘贴法因其操作过程中载体不须加热,设备简单,易于实现工艺自动化操作且经济实惠而得到广泛应用,尤其在集成电路和小功率器件中应用更为广泛。树脂粘贴的器件热阻和电阻都很高。树脂在高温下容易分解,有可能发生填料的析出,在粘贴面上只留下一层树脂使该处电阻增大。因此它不适于要求在高温下工作或需低粘贴电阻的器件。另外,树脂粘贴法粘贴面的机械强度远不如共晶焊接强度大。
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