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半导体及IC生产线上的静电及危害
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静电小强
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静电小强
发表于 2013-3-21 14:04
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半导体及IC生产线上的静电及危害
静电
,
塑料
,
聚乙稀
1.穿着尼龙衣、塑胶基底鞋在清洁地板上缓慢走动,人身会带静电7~8KV电压;
2.玻璃纤维制成的的晶体载料盒滑过聚乙稀桌面时,易产生10KV静电;
3.晶片装配线:晶片静电可达5KV,晶片装料盒35KV,工作服10KV,有机玻璃盖8KV,石英晶件1.5KV,晶片托盘6KV;
4.光刻间塑料地面500~1000V,金属网隔地面500~1000V,扩散间塑料地面500~1500V,塑料墙面约700V,金属活动皮革椅面500~3000V。
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