TSV是一种新出现的制造工艺,在功率器件涉及的大电流处理方面,该工艺是一种有前途的解决方案。但是在最近举办的国际互连技术研讨会上,基于VLSI研究机构的观察,“TSV技术的大批量使用仍需数年时间”。在大批量使用之前,每个晶圆的处理成本仍然很高。功率器件制造商一直在研究成本较低的TSV解决方案。
绝缘体硅功率芯片
绝缘体硅功率硅片(Power-silicon on insulator, PSOI?)是一种密封式芯片级封装,使用一种不同的方式将电气连接带到同一面(见图4)。PSOI使用平面处理步骤在同侧开发带电区域,并使用金属化的方式连接各区域。通过在顶部连接绝缘体的方式将顶部密封并保护起来。在器件的底部开发出外部金属化触点,很像倒装芯片封装。但是PSOI的底部和四周都是绝缘的,形成一种独特的晶圆级封装。可以以任何方式切割芯片:单、双、四等分等等。这一概念省去了任何后端制造步骤。在以晶圆形式进行切割后,对产品进行测试并使用合适的容器发货,例如能够自动拾放的迭片或胶体(waffle or gel)包装。