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解析质检仪的光电读出原理

解析质检仪的光电读出原理

现以测定显微物镜光轴与物镜螺纹轴线的同轴度为例,说明仪器的光电读出原理。  如图2所示,AA‘为显微镜的正确轴线(光轴与机械轴重台),A与A’是物像共轭点,设物面标志物为一个中心位于A的小圆孔,当显微镜使用过程中,物镜中心0产生了一个∠的横向位移时,则A点的像将由A‘移到A“,即像方产生∠’的位移,∠‘泌=s’/s=卩,卩为显微物镜的横向放大倍数。若在像平面上放置四象限硅光电池,如图2所示,由于圆形像光斑中心的偏移,则破坏了原来光电池四部分输出的平行状态,将四部分输出信号经过前置放大(PM)后,按下列规则进行逻辑运算:

  


  图1 光学原理图
  值得强调指出,上述的“除法器”是针对质检仪鉴定后在使用过程中发现的不足而实施的重要改进。除法器的功能在于消除由于电网波动及环境因素所引起的误差,并使信号输出与入射光强无关,便于定标。

  

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