KLA-Tencor新推出Aleris 8500薄膜度量系统 度量, Aleris, 薄膜, 系统

juliguo

KLA-Tencor推出 Aleris系列薄膜度量系统，该系列从 Aleris 8500 开始，是业界第一套将可用于生产的成份与多层薄膜厚度测定结合在一起的系统。其它 Aleris 系列系统将在未来数月内以不同配置推出，以满足 45nm 节点及以下尺寸所有薄膜应用的性能与 CoO 要求。