请教大家

请教

大家好！我完全是一个电子行业的门外汉，所以如果我的问题问错了地方，还请大家原谅。

我的工作需要我了解集成电路沉积炉，我在网络上查了半天，只找到“沉积炉”的零星介绍，而没有直接的介绍。所以我想在这里请教大家：集成电路沉积炉是否也分化学沉积炉和物理沉积炉两种？它的简单工作原理是怎样的呢？另外，HEATER BLOCK ASSY是一个什么样的东西呢？确实是集成电路沉积炉中的附件吗？它起什么作用呢？

如果问的问题不专业，还望大家多多包涵，谢谢！

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lucky.w发表于 2004-4-12 17:04 | 只看该作者

目前国际上最常用的就是物理沉积，化学沉积到没有听说过。我也不专业，建议你没事时可以登陆“集成电路产业网”直接敲中文就可以进去了

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