请教大家 请教

flyingkite

大家好！我完全是一个电子行业的门外汉，所以如果我的问题问错了地方，还请大家原谅。

我的工作需要我了解集成电路沉积炉，我在网络上查了半天，只找到“沉积炉”的零星介绍，而没有直接的介绍。所以我想在这里请教大家：集成电路沉积炉是否也分化学沉积炉和物理沉积炉两种？它的简单工作原理是怎样的呢？另外，HEATER BLOCK ASSY是一个什么样的东西呢？确实是集成电路沉积炉中的附件吗？它起什么作用呢？

如果问的问题不专业，还望大家多多包涵，谢谢！