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请教大家

请教大家

大家好!我完全是一个电子行业的门外汉,所以我不知道我该在哪里分论坛发表我的话题,如果我的问题问错了地方,还请大家原谅。

我的工作需要我了解集成电路沉积炉,我在网络上查了半天,只找到“沉积炉”的零星介绍,而没有直接的介绍。所以我想在这里请教大家:集成电路沉积炉是否也分化学沉积炉和物理沉积炉两种?它的简单工作原理是怎样的呢?另外,HEATER BLOCK ASSY是一个什么样的东西呢?确实是集成电路沉积炉中的附件吗?它起什么作用呢?

如果问的问题不专业,还望大家多多包涵,谢谢!
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