KLA-Tencor推出新型系统扩充Aleris薄膜量测系列 Aleris, 薄膜, 系统

juliguo

KLA-Tencor公司近日推出 Aleris 8310 和 Aleris 8350，在 Aleris 系列薄膜量测系统中增添了两款新品。这些量测系统采用 KLA-Tencor 的最新一代宽带光谱椭圆偏光法（Broadband Spectroscopic Ellipsometry，BBSE）光学元件，让芯片制造商能够测量多层薄膜的厚度、折射率与应力来满足先进的薄膜度量要求。