世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品

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- 135589
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中电网EMD是从属于信息产业部CCID的从事国际半导体制造设备与材料引进及介绍的专业代理机构;
EMD (半导体设备与材料部)
电话:021-61021225 传真:021-52353710
E-mail: emdservice@ChinaECNet.com
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世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品
世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品,厂商:美国SCI 公司
可测参数:
1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um)
2)反射率R和透射率T
3)折射率n和吸收系数k
4)能带间隙
5)表面粗糙度和损伤度
6)成份和结晶程度
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适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。
[此贴子已经被作者于2006-3-31 11:23:11编辑过] |
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