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世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品

联系方式:
中电网EMD是从属于信息产业部CCID的从事国际半导体制造设备与材料引进及介绍的专业代理机构;

EMD (半导体设备与材料部)
电话:021-61021225 传真:021-52353710
E-mail: emdservice@ChinaECNet.com

世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品

世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品,厂商:美国SCI 公司


可测参数:


1)单层或多层薄膜(可达50),厚度 <1Å to 250 um)


2)反射率R和透射率T


3)折射率n和吸收系数k


4)能带间隙


5)表面粗糙度和损伤度


6)成份和结晶程度


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适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。

[此贴子已经被作者于2006-3-31 11:23:11编辑过]

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